CVD SiC Epitaxy Wafer 2 Zoll 3 Zoll 4 Zoll 6 Zoll Epitaxy Dicke 2,5-120 um für elektronische Energie

Produktbeschreibung

SiC-Epitaxy-Wafer: Dies sind einkristalline Siliziumkarbid-Wafer mit epitaxialen Schichten, die auf einem SiC-Epitaxy-Substrat angebaut werden.Sie werden als wesentlicher Baustein in verschiedenen elektronischen und optoelektronischen Geräten verwendetEs verwendet in der Regel SiC-Epitaxy-Substratmaterial. SiC ist ein breitbandreicher Halbleiter mit ausgezeichneter Wärmeleitfähigkeit, hoher Abbruchspannung und chemischer Trägheit.

SiC-Epitaxy-Wafer können unterschiedliche Epitaxialschichtdicken haben, die von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern reichen.SiC-Epitaxy-Wafer"Die Dichte kann auf die spezifischen Anforderungen des Geräts und die gewünschten Materialeigenschaften zugeschnitten werden.Die Wahl der Kristallorientierung hängt von den gewünschten Eigenschaften und Leistungen des Geräts ab.

Die epitaxialen Schichten auf SiC-Epitaxy-Wafer können mit spezifischen Verunreinigungen doppiert werden, um die gewünschten elektrischen Eigenschaften zu erreichen.oder sogar halbisolierende Epitaxialschichten.Siliciumcarbid-Epitaxialwafer haben in der Regel eine hochwertige Oberflächenveredelung mit geringer Rauheit und geringer Defektdichte.Dies gewährleistet eine gute Kristallqualität und erleichtert die anschließenden Verarbeitungsschritte des Geräts.SiC-Epitaxy-Wafer sind in verschiedenen Durchmessern erhältlich, z. B. 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll oder größer. Größere Wafergrößen ermöglichen eine höhere Einbindung von Geräten und eine verbesserte Fertigungseffizienz.

Epi-SiC-Wafer

DieSiC-EpitaxieWachstumsprozess ermöglicht die kontrollierte Ablagerung hochwertiger kristalliner Schichten auf einem Siliziumkarbid-Substrat,die Entwicklung fortschrittlicher Halbleitergeräte mit verbesserter Leistung und Zuverlässigkeit ermöglicht.

Produktparameter

Produktwachstum Methode

SiC-EpitaxieWafer werden typischerweise mit der chemischen Dampfdeposition (CVD) -Methode angebaut. Hier ist eine allgemeine Beschreibung des Wachstumsprozesses für Siliziumkarbid-Epitaxy-Wafer:

Vorbereitung: Erstens eineSiC-EpitaxieDas Substrat, in der Regel ein Einzelkristall Siliziumkarbid-Substrat, wird hergestellt.SiC-EpitaxieDas Substrat wird einer Oberflächenbehandlung und Reinigung unterzogen, um eine gute Kristallqualität und Schnittstellenbindung sicherzustellen.

Reaktionsbedingungen: Temperatur, Luftdruck und Gasdurchfluss im Reaktor werden anhand der gewünschten Art und Eigenschaften der zu wachsenden Epitaxialschicht gesteuert.Diese Bedingungen beeinflussen die Wachstumsrate, Kristallqualität und Dopingkonzentration der Epitaxalschicht.

Epitaxialschichtwachstum: Unter kontrollierten Reaktionsbedingungen zersetzen sich die Vorläufer und bilden neue kristalline Schichten auf der Oberfläche desSiCEpitaxieDiese Schichten legen sich allmählich ab und sammeln sich an und bilden die gewünschte Epitaxialschicht.

Wachstumskontrolle: Die Dicke und Kristallqualität der Epitaxialschicht kann durch Anpassung der Reaktionsbedingungen und der Wachstumszeit kontrolliert werden.Mehrfache Wachstumszyklen können durchgeführt werden, um zusammengesetzte Strukturen oder mehrschichtige epitaxiale Strukturen zu schaffen.

Vergleich der Produktvorteile  

SiCEpitaxy-Wafer:

• - Ich weiß.SiCEpitaxy-Wafersind in leistungsstarken elektronischen Geräten wie Leistungsumwandlern, Motorantrieben und Leistungselektroniksystemen weit verbreitet.Die hohe Wärmeleitfähigkeit und die hohe Abbruchspannung ermöglichen den Betrieb bei hohen Temperaturen und hohen Spannungen.
• SiCEpitaxy-Wafersind auch in hochfrequenten elektronischen Geräten wie HF-Leistungsverstärkern und Mikrowellengeräten verwendet, da sie bei hohen Frequenzen geringe Verluste und einen höheren Wirkungsgrad aufweisen.
• SiCEpitaxy-WaferSie finden Anwendungen in optoelektronischen Geräten wie Fotodetektoren und Laserdioden.

- Ich weiß.Si Epitaxial Wafers:

• Epi-Si-Wafer werden hauptsächlich bei der Herstellung von integrierten Schaltungen (ICs), einschließlich Mikroprozessoren, Speichergeräten und Sensoren, verwendet.Sie eignen sich für Anwendungen, bei denen komplexe Schaltkreisstrukturen und geringer Stromverbrauch erforderlich sind.
• Epi-Si-Wafer werden in Bereichen wie Kommunikation, Informatik und Unterhaltungselektronik weit verbreitet und unterstützen die Funktionalität und Performance vonDie Europäische Kommission hat eine Reihe von Maßnahmen ergriffen, um
• Aufgrund der Vorteile des SiliziummaterialsAl, epi Si Wafer profitieren von ausgereiften Herstellungsprozessen, Ausrüstung und Materialversorgung in der Industrie.

- Ich weiß.Zusammengefasst werden Epi-SiC-Wasser hauptsächlich in Hochtemperatur-, Hochleistungs- und Hochfrequenzanwendungen verwendet, während Epi-Si-Chips für Raumtemperatur- und Niedrigleistungsanwendungen geeigneter sind.insbesondere bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Mikroprozessoren.

Produktwachstumsmuster

  Wenn es um die CVD-Wachstumsmethode für SiC-Epitaxialwafer geht.CVD ist eine häufig verwendete Technik, um dünne Folien von unten nach oben zu wachsen.Der CVD-Wachstumsprozess beinhaltet die Einführung ausgewählter Vorläufermaterialien in eine Reaktionskammer,bei denen sie mit den Reaktionsstoffen auf der Substratoberfläche interagieren und durch chemische Reaktionen einen Film ablegen.

Die CVD-Wachstumsmethode für SiC-Epitaxialwafer ermöglicht die Herstellung von SiC-Filmen mit den gewünschten Materialeigenschaften und Strukturen.LeistungselektronikDurch die Anpassung der Wachstumsbedingungen und die Steuerung des Wachstumsprozesses kann eine präzise Kontrolle über die Dicke, die Kristallqualität, dieEinbeziehung von Verunreinigungen, und Schnittstellen-Eigenschaften von SiC-Folien, um den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden.